方家熊

  男，1939年10月生，光传感技术专家，中国科学院上海技术物理研究所研究员。安徽黄山市人。1962年毕业于南京大学物理系，1966年中国科学院研究生毕业。2001年当选为中国工程院院士。从事光传感器研究，为我国空间遥感系统提供了多种红外传感器。提出了变能隙半导体红外传感器的工程优值参数概念和测试方法；解决了空间用红外传感器的技术基础及工程问题；为新型空间遥感系统的需要实现了碲镉汞红外器件对1～15微米探测的全波段覆盖；提出了我国第一个多光谱红外焦平面组件方案并研制成功；研制了各种多波段红外传感器组件，并推广应用于航空遥感系统和工业、交通、环境和医学等领域。著有卫星用长波HgCdTe探测器的研究等论文报告100多篇，参加撰写专著2部，获得六个国家科技奖。

薛晨阳

   1971年11月生，博士，教授，博士生导师。1994年山西大学物理系获理论物理专业学士学位；1997年在山西大学光电研究所，获量子光学及激光技术专业硕士学位；2003年在希腊雅典国立科技大学物理系，获得半导体材料专业博士学位。2005年聘为重点实验室副主任。2005年被评为山西省青年学科带头人，2007年被评为教育部世纪优秀人才，2009年山西省高等学校中青年拔尖创新人才。2018年聘为重点实验室主任。已完成国家863计划子课题，山西省自然科学基金项目，山西省归国留学人员基金项目和省专家基金项目等多项。目前作为项目第一负责人的在研项目有：国家863计划课题《危化品气体检测MEMS传感器研发及其产业化技术》的子课题，国家973计划专项《纳米晶体管嵌入式传感结构加工工艺及其性能研究》。并且作为项目第二负责人或骨干力量承担了863项目和总装预研项目研究的部分工作。近年来承担的教学任务：承担本科的《固体物理》、《光电子技术》、《激光应用基础》和研究生的《半导体物理》、《专业英语》等多门课程的教学工作。教学过程中采用多媒体和双语教学，特别是结合实验室的实验条件开展了与课堂教学内容结合的演示实验，收到良好的效果，受到学生的好评。在研究生培养过程中，特别注重学生个人人能力和特长的培养，启发和引导研究生自主开展研究工作，及时解决研究生在研究过程中遇到的问题。在所指导的硕士研究生中，大多数学生都发表了SCI论文，每届都有学生被评为优秀毕业生。

研究方向：

新型微米纳米器件（MEMS/NEMS）、微纳测试技术、固体光谱学与微光学气体传感器的研究工作。

张斌珍

    1974年7月生，博士，教授，博士生导师。2008年开始在北京大学微电子学与固体电子学专业博士后流动站学习。2011年选入教育部“新世纪优秀人才支持计划”。2018年聘为重点实验室副主任。作为课题主要研究人员，近年来负责和参与的科研工作有：国家973项目1项，国家863项目1项，国家自然基金项目2项；总装备部跨行业基金1项；总装重点基金1项；等其他横向协作项目二十余项，其研究成果应用于多个国家重大和重点武器型号中应用。正在申请国内发明专利7项，先后在国际、国内的重要学术刊物《Sensors&Actuators》、《Microsystem Technologies》、《Sensors and Materials.》、《兵工学报》和国际会议上发表相关学术论文14篇，被SCI、EI检索8篇。参编《微弱信号检测技术》著作1部，参译《微机械传感器与执行器大全》一部，获得国家科技发明二等奖一项（第六），参加的多个项目曾获省部级多项奖励。

研究方向：

学术研究集中在微纳机电系统（MEMS/NMEMS）和武器系统恶劣环境下的动态测试技术。在此领域内先后开展微纳器件和系统的设计制造、微弱信号检测与处理、以及恶劣环境下存储测试理论与技术研究。