设备名称
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4156C精密半导体参数分析仪
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设备型号
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Agilent 4156C
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设备功能
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半导体特性分析系统用于实验室级的器件直流参数(I-V& C-V)测试、实时绘图与分析,具有高精度和fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力,包括完整的嵌入式PC机,Windows操作系统与大容量存储器。其自动记录、点击式接口加速并简化了获取数据的过程,这样用户可以更快地开始分析测试结果,能执行半导体器件、材料和工艺的综合电气特性分析。
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技术指标
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填空式前面板操作,包括Desktop Easy EXPERT软件,可在PC上通过GUI对仪器进行控制;
4×高分辨率SMU、2×VSU和2×VMU;
电流、电压分辨率1fA和0.2mV;
可选的41501B可提供+/—200V和+/—1A大功率SMU、脉冲发生器功能。
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设备名称
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Agilent 4284A精密LCR测试仪
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设备型号
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4284A
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设备功能
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该仪器在测试元件时符合最通行的测试标准IEC/MIL标准(国际电工委员会或美国军用标准),在20Hz到1MHz宽的测频范围,测试材料的电导率ρ、介电常数ε、电阻R、电抗X、阻抗Z、导纳Y、电导G、电纳B、电感L、介电损耗D、品质因数Q等电学参数,来研究材料的电学性能。
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技术指标
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可测参数:|z|-θ,|Y|-θ,R-X,G-B,C-D,ESR,G,Rp,L-D,ESR,G;
测量电路模式:串联和并联;
量程转换:自动和手动;
触发:内部、外部和总线(HP-IB);
延迟时间:0-60.00s以1ms步进;
测量终端:四端对;
测试电缆长度:标准:0和1m;带选件006时:0、1、2、4m;
积分时间:短、中等、长;
取平均:1-256可程控;
带宽:20Hz-1MHz。
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设备名称
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激光器
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设备型号
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E15系列K80-150-14
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设备功能
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提供窄线宽光源
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技术指标
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中心波长:1550nm;
线宽:100Hz;
扫频系数:15MHz/V;
PZT电压:
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功率范围:0.02mW~45.5mW。
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设备名称
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频谱仪
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设备型号
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PXA Signal Analyzer N9030A
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设备功能
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用于射频和微波信号的频域分析,包括测试信号功率,频率,失真产物等。
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技术指标
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带宽:3Hz-26.5GHz
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设备名称
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示波器
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设备型号
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Tektronix DPO4104B
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设备功能
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将看不见的电信号转换成看得见的图像,可以观察各种不同信号幅度随时间变化的波形曲线,还可以测试各种不同的电量,如电压、电流、频率、相位差、调幅度等。
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技术指标
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带宽:1GHz;
采样率:5GSa/s,10M/CH;
四通道信号输入。
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设备名称
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矢量水听器校准系统
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设备型号
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设备功能
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形成驻波场,可完成对矢量水听器性能测试、校准,如测试水听器的灵敏度、指向性、副频和相频曲线等。
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技术指标
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校准测试频率范围:20Hz~2kHz;
声管中声场的径向声压起伏小于0.5dB;
回转轴旋转角度:0°~360°;
具有自动升降系统。
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