| 国际合作项目 | 国家级项目 | 省部级项目 | 横向课题 |
近五年来本实验室多次参加国家重点工程项目研究，国家级项目达到74项，总经费九千多万元，部分项目如下：
序号
|
项目/课题名称
|
项目类型
|
项目
|
总经费（万元）
|
起止
|
备注（主持/参与）
|
负责人
|
时间
|
|||||
1
|
超高温环境下xxx测试基础研究
|
国防“973”
|
熊继军
|
2200
|
2014.01-2017.12
|
主持
|
2
|
面向重型采煤机械在线状态监测的微纳系统三维异质集成技术
|
国家“863”
|
薛晨阳
|
846
|
2015.03-2018.03
|
主持
|
3
|
水陆交通安全传感器及系统
|
国家“863”
|
张文栋
|
420
|
2011.04-2014.03
|
主持
|
4
|
微型仿生复眼光学导航器件基础研究
|
“973”前期专项
|
刘俊
|
125
|
2012.01-2014.12
|
主持
|
5
|
应用于海底长期观测网的纳机电矢量水听器
|
“863”子课题
|
刘俊
|
63
|
2013.01-2015.12
|
主持
|
6
|
二维x射线成像系统集成及像质优化与评估
|
国家重大科学仪器开发专项子项目
|
王明泉
|
119.06
|
2014.01-2017.12
|
主持
|
7
|
多模式X射线成像系统分析仪研发与应用（任务：BGA封装器件内部缺陷识别技术）
|
国家重大科学仪器开发专项子项目
|
桂志国
|
92.5
|
2014.10-2018.09
|
主持
|
8
|
基于CMUT环形阵列的乳腺癌症诊断超声CT系统研究
|
国家重点研发计划
|
张国军
|
347
|
2016.01-2018.12
|
主持
|
9
|
结合形态学影像的近红外漫射光血流断层成像系统
|
国家重点研发计划
|
尚禹
|
157.4
|
2016.01-2018.12
|
主持
|
10
|
cMUT超声换能器
|
国家重点研发计划
|
张斌珍
|
75
|
2016.067-2020.12
|
主持
|
11
|
微纳米传感器原理与集成
|
国家杰出青年基金
|
薛晨阳
|
350
|
2016.01-2020.12
|
主持
|
12
|
特殊环境下的测试技术及仪器
|
国家杰出青年基金
|
熊继军
|
400
|
2015.01-2019.12
|
主持
|
13
|
微/纳机械系统
|
国家杰出青年基金
|
刘俊
|
280
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
14
|
智能微纳器件与系统
|
国家优秀青年科学基金
|
丑修建
|
100
|
2015.01-2017.12
|
主持
|
15
|
面向高灵敏度生化传感器圆片级大面积多维有序纳米结构制造基础研究
|
国家自然基金重大研究计划
|
刘俊
|
60
|
2012.01-2014.12
|
主持
|
16
|
纳米光波导器件制造科学问题及关键技术研究
|
国家自然基金重大研究计划
|
闫树斌
|
200
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
17
|
基于高Q值环形微谐振腔倏逝场的MEMS生化传感芯片基础研究
|
国家自然基金重大研究计划
|
闫树斌
|
68
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
18
|
芯片级固态核磁共振力/磁传感基础研究
|
国家自然基金重点项目
|
刘俊
|
285
|
2017.01-2021.12
|
主持
|
19
|
集成纳米结构的光源与多敏感元一体化的红外气体传感器
|
国家自然基金重点项目
|
熊继军
|
260
|
2014.01-2018.12
|
主持
|
20
|
能量自适应的X射线三维CT系统研究
|
国家自然基金重点项目
|
韩 焱
|
290
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
21
|
弹载宽带共形天线阵列微机械制造技术
|
联合基金项目/重点支持项目/航天先进制造技术研究联合基金
|
张斌珍
|
254
|
2017.01-2021.12
|
主持
|
22
|
面向固态量子传感的自旋系综测量与调控装置
|
国家自然基金重大科研仪器研制项目
|
刘俊
|
723
|
2018.01-2022.12
|
主持
|
23
|
基于MEMS技术的全海深湍流混合矩阵式剖面观测仪器研究
|
国家自然基金重大科研仪器研制项目
|
薛晨阳
|
741
|
2018.01-2022.12
|
主持
|
24
|
基于纳机电矢量水听器面阵的水下目标成像机理与技术研究
|
国家自然基金仪器专项
|
薛晨阳
|
280
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
25
|
虚拟堆砌弹光调制高性能傅里叶变换光谱仪研究
|
国家自然基金仪器专项
|
王志斌
|
280
|
2011.01-2015.12
|
主持
|
26
|
结合医学影像先验信息的近红外漫射光血流血氧测量技术研究
|
国家自然基金面上项目
|
尚禹
|
16
|
2018.01-2018.12
|
主持
|
27
|
压电-电磁协同换能振动能量高效采集硅基微能源器件基础研究
|
国家自然基金面上项目
|
丑修建
|
64
|
2017.01-2020.12
|
主持
|
28
|
近红外漫射光血流成像的建模与算法研究
|
国家自然基金面上项目
|
桂志国
|
64
|
2017.01-2020.12
|
主持
|
29
|
基于多谱序列盲分离的材料组分3D结构多尺度CT表征方法
|
国家自然基金面上项目
|
陈平
|
63
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
30
|
纳米金刚石色心荧光腔动力学增强效应及其核磁共振陀螺应用研究
|
国家自然基金面上项目
|
唐军
|
70
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
31
|
半捷联微机械惯性系统信息敏感误差机理与抑制方法研究
|
国家自然基金面上项目
|
李杰
|
63
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
32
|
基于纳米光栅的微陀螺效应检测机理研究
|
国家自然基金面上项目
|
王高
|
65
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
33
|
利用接触式传感器进行瞬态高温测试的不确定度应用基础研究
|
国家自然基金面上项目
|
张志杰
|
63
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
34
|
基于隧道磁阻效应的新型微陀螺传感原理研究
|
国家自然基金面上项目
|
李孟委
|
60
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
35
|
基于级连环形微腔PT-Symmepry效应的芯片级全光开关
|
国家自然基金面上项目
|
闫树斌
|
65
|
2016.01-2019.12
|
主持
|
36
|
基于MEMS-CMOS技术集成的引信执行级电路模块化基础研究
|
国家自然基金面上项目
|
穆继亮
|
80
|
2015.01-2018.12
|
主持
|
37
|
面向恶劣环境的三维集成电容式多参数无源LTCC传感器机理研究
|
国家自然基金面上项目
|
谭秋林
|
88
|
2015.01-2018.12
|
主持
|
38
|
基于UV-LIGA工艺的500Hz定向耦合器制造
|
国家自然基金面上项目
|
张斌珍
|
85
|
2015.01-2018.12
|
主持
|
39
|
原子发射双谱线测温机理研究
|
国家自然基金面上项目
|
郝晓剑
|
80
|
2015.01-2018.12
|
主持
|
40
|
高超声速飞行器舵机电动负载模拟器的动态特性研究
|
国家自然基金面上项目
|
杨瑞峰
|
80
|
2014.01-2017.12
|
主持
|
41
|
基于磁场聚集与纳米颗粒敏感的信鸽矢量传感器研究
|
国家自然基金面上项目
|
张晓明
|
80
|
2014.01-2017.12
|
主持
|
42
|
荧光碳纳米颗粒基复合体界面的设计及其对光致电子转移率的影响
|
国家自然基金面上项目
|
胡胜亮
|
80
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
43
|
高g值冲击下泡沫金属填充壳多次缓冲机理研究
|
国家自然基金面上项目
|
徐鹏
|
81
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
44
|
基于SWNTS/MOF微结构气味检测芯片的敏感机理基础研究
|
国家自然基金面上项目
|
刘文怡
|
80
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
45
|
硅基纳米光波导陀螺敏感机制及导波结构表面光滑化关键技术研究
|
国家自然基金面上项目
|
闫树斌
|
93
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
46
|
基于DR/ICT的BGA封装器件内部缺陷检测技术
|
国家自然基金面上项目
|
桂志国
|
85
|
2013.01-2016.12
|
主持
|
47
|
基于反铁电材料外场诱导相变效应的智能传感与执行机构基础研究
|
国家自然基金面上项目
|
丑修建
|
60
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
48
|
硅基Ⅲ-Ⅴ族外延量子点RTD隧穿陀螺仪的基础效应研究
|
国家自然基金面上项目
|
刘俊
|
63
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
49
|
基于工业CT固体火箭发动机缺陷定位与分割技术研究
|
国家自然基金面上项目
|
王明泉
|
60
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
50
|
碳量子点与酞菁特定复合物的可控合成及其光吸收与转化性质的研究
|
国家自然基金面上项目
|
胡胜亮
|
60
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
51
|
任意扫描轨迹的多能CT重建算法
|
国家自然基金面上项目
|
潘晋孝
|
60
|
2012.01-2015.12
|
主持
|
52
|
低剂量X射线CT重建算法研究
|
国家自然基金面上项目
|
桂志国
|
37
|
2011.01-2013.12
|
主持
|
53
|
极端热环境射频无源谐振式振动传感基础研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
洪应平
|
20
|
2018.01-2020.12
|
主持
|
54
|
可穿戴纤维织物摩擦-压电复合式高效能量采集方法研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
侯晓娟
|
25
|
2018.01-2020.12
|
主持
|
55
|
超高温压力/振动原位同步测量HTCC微传感器基础研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
李晨
|
23
|
2018.01-2020.12
|
主持
|
56
|
硅基铌酸锂铁电单晶薄膜导电畴壁调控及低温传感机理研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
耿文平
|
26
|
2018.01-2020.12
|
主持
|
57
|
硅基高Q值微谐振腔光电振荡器的基础研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
郑永秋
|
25
|
2018.01-2020.12
|
主持
|
58
|
基于巨压阻效应的MEMS三维矢量水声传感器基础研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
王任鑫
|
20
|
2017.01-2019.12
|
主持
|
59
|
基于大气偏振模式的载体位置测量关键技术研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
申冲
|
20
|
2017.01-2019.12
|
主持
|
60
|
高可靠无装药强化聚能MEMS发火器件机理研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
陈晓勇
|
20
|
2016.01-2018.12
|
主持
|
61
|
基于大气偏振特性的载体三维空间自主姿态测量理论与方法研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
王晨光
|
19
|
2016.01-2018.12
|
主持
|
62
|
硅基纳米晶微波介质陶瓷薄膜的取向生长制备及其性能研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
董和磊
|
19
|
2016.01-2018.12
|
主持
|
63
|
基于金刚石N微色心的固态核磁共振陀螺关键技术研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
马宗敏
|
19
|
2016.01-2018.12
|
主持
|
64
|
基于UV-LIGA工艺的微型腔体滤波器关键技术研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
段俊萍
|
25
|
2015.01-2017.12
|
主持
|
65
|
自由空间光通信精跟踪系统高频响应硅基反铁电厚膜微振镜基础研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
安坤
|
24
|
2015.01-2017.12
|
主持
|
66
|
基于能谱分离的变能量X射线多普CT成像方法研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
陈平
|
28
|
2014.01-2016.12
|
主持
|
67
|
基于黑硅吸收层多层组合纳米膜红外探测器及其气体检测技术
|
国家自然基金青年科学基金
|
谭秋林
|
26
|
2013.01-2015.12
|
主持
|
68
|
MEMS仿生矢量水听器“桔瓣”式复合效应封装技术研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
张国军
|
26
|
2013.01-2015.12
|
主持
|
69
|
轴对称物体缺陷超声检测的特征提取及三维反演模型
|
国家自然基金青年科学基金
|
陈友兴
|
24
|
2013.01-2015.12
|
主持
|
70
|
基于金纳米颗粒/polymer复合结构的MEMS嵌入式高灵敏度力敏检测元件基础研究
|
国家自然基金青年科学基金
|
唐军
|
25
|
2012.01-2014.12
|
主持
|
71
|
X射线多普成像的物理机理研究
|
国家自然基金主任基金
|
陈平
|
5
|
2012.01-2014.12
|
主持
|
72
|
机械传感与测试仪器发展前沿与趋势研究
|
国家自然专项基金
|
熊继军
|
10
|
2016.01-2016.12
|
主持
|
73
|
原子分辨率近场光显微镜的纳米结构制造及性能表征结构
|
国家自然基金国际合作交流项目
|
刘俊
|
9
|
2014.04-2016.12
|
主持
|
